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2021年后电子级六氟化硫逐渐完成国产代替

发布时间:2022-08-02 02:09:34 来源:leyu体育官网首页 | 浏览:3

内容摘要:  六氟化硫(化学式:SF6)在正常条件下是一种无色、无味、无毒、无味和不易燃的气体。作为一种电子气体,六氟化硫具有杰出的化学稳定性、耐腐蚀性、电绝缘性和耐热性。广泛使用于半导体、电力设备、航空航天、

  六氟化硫(化学式:SF6)在正常条件下是一种无色、无味、无毒、无味和不易燃的气体。作为一种电子气体,六氟化硫具有杰出的化学稳定性、耐腐蚀性、电绝缘性和耐热性。广泛使用于半导体、电力设备、航空航天、半导体制作、金属加工、医药等范畴。

  依据使用范畴的不同,六氟化硫可分为工业六氟化硫和电子六氟化硫。近年来,跟着大规模集成电路技能的前进,商场对电子气体的纯度和质量提出了越来越高的要求。在此布景下,六氟化硫职业正逐渐从工业质量晋级为电子质量。

  电子质量六氟化硫可用作大型集成电路(如半导体和显现设备)的蚀刻和清洁过程中的氟源和蚀刻气体。电子六氟化硫作为一种高附加值精密化工产品,具有必定的技能、研制和使用价值D和本钱限额。在前期阶段,因为技能约束,我国电子质量六氟化硫的出产能力缺乏,其产品高度依靠进口。跟着进入21世纪,我国电子工业开展敏捷,国内商场对电子级六氟化硫的需求敏捷上升,自主出产电子级六氟化硫的需求火急。

  我国严峻依靠特别电子气体的进口。为了进步特种电子气的自给率,参加世界商场竞争,我国政府愈加注重开展特种电子气工业。2020年,化工石灰研讨设计院出产的高纯度六氟化硫产品通过了国家大型专项团队的现场测验和评价,标志着高纯度六氟化硫电子气在我国大面积集成电路职业的国产化。回来搜狐,检查更多

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